Halbleiterindustrie

Kabel und Leitungen für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiter-Produktion stellt hohe Ansprüche an die dort eingesetzten Kabel und Leitungen. Ein großer Grad an Produktreinheit, hohe Geschwindigkeiten und präzise Bewegungen sind die Anforderungen in diesen Prozesseinrichtungen. Durch den Einsatz spezieller Mantelmaterialien erreichen wir eine starke Reduktion der Partikelemission. Kunststoffe auf Flourpolymerbasis verfügen über eine sehr hohe Abriebfestigkeit. Für Vakuumanwendungen werden ausgasungsfreie Materialien verwendet und eine partikelarme Fertigung im Reinraum ist Voraussetzung. 

Extreme Flexibilität unserer Produkte, gewährleisten wir durch innovatives Kabeldesign und anwendungsspezifische Materialauswahl.

Anwendungsbeispiel

Bandkabel für Sortieranlage Waferscheiben

Diese Anwendung erfordert mehr als zehn Millionen Biegewechsel-Zyklen bei extrem engen Biegeradien. Bei der Waferbearbeitung ist es erforderlich Verunreinigungen durch Partikel so gering wie möglich zu halten.

LEONI hat ein HPF-Bandkabel (HPF = high-performance-flex) entwickelt, das durch die Verwendung von speziellen Fluorkunststoffen eine Lebensdauer von mehr als 100 Millionen Biegezyklen erreicht. Dieses Kabel vereint Spannungsversorgung und sichere Daten-/Bildübertragung bei sehr geringem Biegeradius. Das verwendete Mantelmaterial ist besonders abriebfest und verringert somit die durch Abrieb bedingten Schmutzpartikel während des Fertigungsprozesses.

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Publikation

LEONI High Performance Cable Solutions

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